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直線電機在半導體行業(yè)勢不可擋

文章出處：同茂電子人氣：發(fā)布時間：2018/1/26 15:11:55

直線電機在半導體行業(yè)勢不可擋，半導體設備正在往高速、高精度、高性能、和環(huán)保的方向發(fā)展。高精度和高速對傳動及其控制提出了更高的要求，更高的動態(tài)特性和控制精度，更高的速度和加速度，更低的振動噪聲和更小的設備磨損。

于是出現(xiàn)了直接傳動的概念，即取消從電動機到工作部件之間的各種中間環(huán)節(jié)。隨著電機及其驅(qū)動控制技術的發(fā)展，直線電機的技術的日益成熟，使主軸、直線和旋轉坐標運動的直接傳動概念變?yōu)楝F(xiàn)實，并逐漸顯示其很大的優(yōu)越性。

采用直線電機進行驅(qū)動的主要優(yōu)點：

1.速度性能好，速度偏差可達0.01%以下;

2.定位精度高。采用光柵閉環(huán)控制，定位精度可達0.1～0.01mm。應用前饋控制的直線電機驅(qū)動系統(tǒng)可減少跟蹤誤差200倍以上。由于運動部件的動態(tài)特性好，響應靈敏，加上插補控制的精細化，可實現(xiàn)納米級控制;

3.行程不受限制。傳統(tǒng)的絲杠傳動受絲杠制造工藝限制，一般4～6m，更的行程需要接長絲杠，無論從制造工藝還是在性能上都不理想。而采用直線電機驅(qū)動，定子可加長，且制造工藝簡單;

4.結構簡單、運動平穩(wěn)、噪聲小，運動部件摩擦小、磨損小、使用壽命長、可靠。

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